Se depositó ZnO nanoestructurado sobre diferentes sustratos (Si, SiO2 y Au/SiO2) mediante una técnica de deposición física de vapor mejorada que presenta excelentes propiedades luminiscentes. Esta técnica consiste en un reactor horizontal de tubo de cuarzo que utiliza Zn de ultra alta pureza y oxígeno UHP como precursores. La morfología y la estructura del ZnO crecido en este trabajo se estudiaron mediante microscopía electrónica y difracción de rayos X. Los patrones de DRX revelaron la fase altamente cristalina de la estructura policristalina wurtzita, con una dirección de crecimiento preferente (1011). Los estudios de catodoluminiscencia a temperatura ambiente revelaron dos características en las propiedades de luminiscencia del ZnO obtenido por esta técnica, en primer lugar un pico estrecho de alta intensidad centrado en 390 nm (~3,2 eV) que corresponde a una emisión cercana a la banda, y en segundo lugar, un pico amplio centrado en 517 nm (2,4 eV), la típica luminiscencia verde-amarilla, relacionada con un ZnO dopado involuntariamente.