Los dispositivos de ondas acústicas superficiales con películas finas piezoeléctricas de nitruro de aluminio (AlN) orientadas al eje c sobre sustratos poliméricos pueden utilizarse potencialmente para el desarrollo de sensores flexibles, aplicaciones microfluídicas flexibles, microsistemas y sistemas lab-on-chip. En este trabajo, las películas de AlN se han depositado con éxito sobre sustratos poliméricos utilizando el método de magnetrón-sputtering reactivo DC a temperatura ambiente, y los métodos XRD, SEM y AFM revelan que la baja presión de deposición es beneficiosa para la película de AlN altamente orientada al eje c sobre sustratos poliméricos. Se inician los estudios para el desarrollo de dispositivos flexibles de ondas acústicas superficiales basados en películas delgadas de AlN sobre sustratos poliméricos, y los resultados experimentales y simulados demuestran que los dispositivos presentan una velocidad de onda acústica de 9000-10000 m/s, lo que indica la onda de cordero de AlN.